TEM 안에서 시료를 가열하면서 미세구조의 변화를 관찰하는 MEMS 기반 가열 시스템입니다.
주요 기능
- Nano-Chip 기반 시료 가열
- 온도 제어와 현미경 관찰 결합
- 열에 따른 구조 변화의 실시간 관찰
적용 분야
상변화 · 나노입자 · 열적 안정성
제조사와 품목을 선택해 주요 기능과 적용 분야를 확인하세요.
전자현미경 내의 진공조건에 Temperature, Biasing, Gas, Liquid 조건을 제어하며 시료의 변화를 관찰하는 in-situ 플랫폼입니다. TEM과 SEM 실험에서 데이터 분석까지 필요한 제품을 살펴보세요.
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PRODUCT LINEUP 09
TEM 안에서 시료를 가열하면서 미세구조의 변화를 관찰하는 MEMS 기반 가열 시스템입니다.
상변화 · 나노입자 · 열적 안정성
온도 및 전압에 따른 시료의 변화를 TEM에서 관찰합니다.
전자재료 · 전기적 구동 · 온도 의존성
냉각(LN2)·가열·전기적 바이어싱을 한 플랫폼에서 다루는 in-situ TEM 시스템입니다.
저온 물성 · 기능성 소재 · 전기적 특성
가스 환경에서 가열과 바이어싱을 적용하며 반응 중인 시료를 관찰하는 시스템입니다.
촉매 · 가스 반응 · 산화 및 환원
액상 환경의 시료를 TEM에서 관찰하고 가열 및 바이어싱 조건을 결합하는 시스템입니다.
액상 전기화학 · 입자 성장 · 용액 반응
SEM/FIB에서 가열과 바이어싱 실험을 수행하는 플랫폼입니다. Nano-Chip을 활용한 SEM/TEM 연계 실험을 지원합니다.
재료 변화 · 전기적 구동 · 다중 현미경 분석
SEM 및 벤치톱 실험을 위한 액상 전기화학 스테이지입니다. 외부 기준전극과 상대전극을 사용하는 3전극 실험 구성을 제공합니다.
전극 반응 · 전착 · 전기화학 소재
Climate∞와 Stream∞에 광조사 기능을 더하는 옵션입니다. 가스·액상 환경에서 빛과 다른 자극을 함께 적용할 수 있습니다.
광반응 · 광전기화학 · 빛에 반응하는 소재
현미경 이미지·스펙트럼과 실험 조건을 공통 타임라인에 맞춰 분석하는 소프트웨어입니다.
Nexus · Drift correction & lattice segmentation
In-situ 데이터 정리 · 상관 분석 · 결과 시각화
전자현미경 안에서 시료를 조작하고 전기적 특성을 측정하는 솔루션입니다. 프로버, 매니퓰레이터, 분석 도구를 실험 목적에 맞게 구성할 수 있습니다.
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PRODUCT LINEUP 07
위치 엔코더를 통합한 8-프로브 시스템입니다. 프로브 위치 저장·복원과 자동 사전 정렬을 통해 반복적인 나노프로빙 작업을 지원합니다.
반도체 전기적 특성 분석 · Low-kV Nano-Probing · 반복 측정
최대 8개의 프로브를 구성할 수 있는 소형 전기적 나노프로빙 플랫폼입니다.
반도체 소자 · 전기적 불량 분석 · 다중 접촉 측정
4개 프로브를 사용하는 전기적 나노프로빙 플랫폼으로 미세 소자의 접촉·측정에 활용합니다.
소자 평가 · 전기적 접촉 · 나노구조 측정
MM3A-EM의 소형 구조에 Closeloop position feedback을 더한 마이크로매니퓰레이터입니다. 저장된 작업 위치로 이동하고 SEM/FIB 내부에서 툴 팁을 정밀하게 제어할 수 있습니다.
시료 조작 · FIB 시료 준비 · 반복 위치 제어
전자현미경용 3축 매니퓰레이터입니다. 시료 조작과 프로빙 작업에 맞춰 도구를 조합합니다.
시료 취급 · 미세 구조 조작 · 시료 준비
PS8 프로빙 실험에 온도 제어를 더하는 가열·냉각 스테이지입니다.
온도 의존 전기 특성 · 소자 평가
매니퓰레이터에 장착해 시료 잡기, 회전, 측정 등 작업을 확장하는 도구군입니다.
Lift-out 작업 구성 · 미세 시료 취급 · 실험 확장
Scanning Precession Electron Diffraction 기반으로 결정방위·상·변형률·전기장·국소 구조를 분석합니다. 데이터 취득 플랫폼과 분석 목적에 따라 품목을 선택하세요.
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PRODUCT LINEUP 06
TEM Electron beam에 precession적용하여 전자 회절 패턴을 취득하는 시스템입니다. 나노 결정 구조 분석과 다양한 회절 기반 분석을 지원합니다.